催化燃燒工藝根據(jù)廢氣預(yù)熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程可分為3種。

（1）預(yù)熱式。預(yù)熱式是催化燃燒工藝的基本流程形式。廢氣溫度在100℃以下，濃度也較低，熱量不能自給，因此在進入反應(yīng)器前需要在預(yù)熱室加熱升溫。燃燒凈化后氣體在熱交換器內(nèi)與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。該工藝通常采用煤氣或電加熱升溫至催化反應(yīng)所需的起燃溫度。

（2）自身熱平衡式。當(dāng)廢氣排出時溫度高于起燃溫度（在300℃左右）且物含量較高，熱交換器回收部分凈化氣體所產(chǎn)生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒反應(yīng)器中設(shè)置電加熱器供起燃時使用。

（3）吸附-催化燃燒。當(dāng)廢氣的流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒需耗大量燃料時，可先采用吸附手段將廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使廢氣脫附成為廢氣（可濃縮10倍以上），再進行催化燃燒。此時，不需要補充熱源，就可維持正常運行引。

對于催化燃燒工藝的選擇主要取決于：

（1）燃燒過程的放熱量，即廢氣中可燃物的種類和濃度；

（2）起燃溫度，即組分的性質(zhì)及催化劑活性；

（3）熱回收率等。當(dāng)回收熱量超過預(yù)熱所需熱量時，可實現(xiàn)自身熱平衡運轉(zhuǎn)，無需外界補充熱源，這是比較經(jīng)濟的。